Vzorky jsou analyzovány pomocí ICP-OES. Tato technika umožňuje analyzovat téměř všechny prvky periodické tabulky, které je možno převést do roztoku, s citlivostí od jednotek ppb po stovky ppm (viz tabulka). Roztok analytického vzorku je zmlžen a vzniklá mlha je proudem argonu vedena do hořáku, ve kterém je za pomoci střídavého vysokofrekvenčního magnetického pole udržováno argonové plazma o teplotě 6 000 – 10 000 K. Při vstupu analyzovaných prvků do plazmatu dochází k vybuzení jejich emisních čar. Aby bylo možné využít těchto emisních čar pro analytické účely, je třeba odvést vznikající záření do součásti, která je schopna jej rozdělit podle jeho vlnových délek. To následně umožňuje stanovovat více prvků najednou.



Protože energetické podmínky v používaném plazmatu se významně liší v různých prostorových částech výboje, je velmi důležité správné umístění pozorovacího místa, z nějž se spektrum zaznamenává. Tento typ přístroje umožňuje oba typy pozorování, jak axiální (spektrum je snímáno v ose hoření plazmatu) tak radiální (odebírají měřené emisní záření z bodů kolmých k ose plazmatického hořáku). Rozdíl pro uživatele je především v citlivosti měření a v mezích detekce pro jednotlivé stanovované prvky (viz. tabulka).

Nejvýznamnějším nákladem celé analýzy je plyn argon, který je používán nejen při samotném měření, ale je nutné ho použít již několik hodin před samotnou analýzou, aby došlo k ustavení vhodných podmínek.